报告题目：低温等离子体模拟与气体放电机理
报 告 人：郑博聪（北京理工大学教授）
报告时间：2023年11月16日 星期四下午15:00—17:00
报告地点：机械与汽车工程学院29号楼3楼会议室
欢迎广大师生踊跃参加。
机械与汽车工程学院
2023年11月13日
报告人简介：
郑博聪，北京理工大学物理学院教授、博士生导师。2016年博士毕业于大连理工大学，2017-2018年在美国密歇根州立大学从事博士后研究工作，2018-2022年在美国 Fraunhofer USA 担任研究科学家，2022年入职北京理工大学。长期致力于放电等离子体模拟软件的自主研发、气体放电机理的理论研究和等离子体技术的应用研究，包括粒子模拟、流体模型、整体模型、电子动理学、电子加热机制、玻尔兹曼方程矩分析、交叉场等离子体、等离子体不稳定性、气体放电相似定律、射频放电、物理气相沉积、空心阴极放电、大气压等离子体、等离子体-液体相互作用等。自主研发的等离子体粒子模拟软件ASTRA已成功应用于直流/射频、磁化/非磁化、低气压/大气压等放电的研究中，应用背景涵盖磁控溅射、离子源、电推进、微等离子体等重要领域。在 Plasma Sources Sci. Technol.、Phys. Rev. Appl.、Appl. Phys. Lett. 等低温等离子体和应用物理类高水平期刊发表文章50余篇。
报告摘要：
低温等离子体由于其远离平衡态的特性，可以产生较为极端的工作条件，在芯片制造（刻蚀、镀膜）、航空航天（电推进）、能源转换等领域具有重要的应用价值。本次报告将简要介绍等离子体相关的基础知识，包括等离子体的基本概念、分类，一些典型的低温等离子体发生方法及其特征等。在此基础上，结合等离子体模拟的相关研究工作，介绍低温等离子体和气体放电的一些重要应用。